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삼에스코리아

미래가치를 만드는 기업 3S KOREA

To create future value company 3S KOREA

주요사업

첨단사업

300mm FOSB(model.V2)

● 제품설명
FOSB업계 최초로 국내 Chip maker 에 단일 모델 대응이라는 성과를 이 룬 3S KOREA 독자개발 FOSB의 2번째 제품으로, 현재 국내 Chip maker 에 납품되고 있습니다. (일부 특수 공정 Line은 제외) Auto와 Manual machine 대응 가능한 FOSB로써 Option part로 OHT를 위한 Top flange를 제공합니다.

● 제품사양
웨이퍼 수용량 (Wafer storage quantity) : 25sheets
폭 (Width) : 387.3mm
길이 (Length) : 344.5mm
높이 (Height) : 328mm
무게 (Weight) : Empty - 4.2kg
With wafer - 7.2kg

● 제품 호환성
SEMI (E15.1, E62, E63, E64, E110, E83, E85, E84, E99, E144) SPEC을 기준으로 설비 호환성 확보.