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삼에스코리아

미래가치를 만드는 기업 3S KOREA

To create future value company 3S KOREA

주요사업

첨단소재산업

300mm FOSB(model.V3h)

● 제품설명
Auto & manual Machine 대응 FOSB로써 SEMI 기준 외 CHIP MAKER 작 업 환경까지 고려한 구조로 설계하여 OHT 및 RFID 수송 대응이 가능합니 다. 작업자에 친화적인 Auto 뿐만 아니고, Manual Open Close 용이합니다. 또한 인체 공학 설계를 통한 입체적 Side Handle을 사용합니다.

● 제품사양
웨이퍼 수용량 (Wafer storage quantity) : 25sheets
폭 (Width) : 385mm
길이 (Length) : 351mm
높이 (Height) : 327.5mm
무게 (Weight) : Empty - 4.3kg
With wafer - 7.3kg

● 제품 호환성
SEMI (E15.1, E62, E63, E64, E110, E83, E85, E84, E99, E144) SPEC을 기준으로 설비 호환성 확보.