본문 바로가기 주메뉴 바로가기

삼에스코리아

미래가치를 만드는 기업 3S KOREA

To create future value company 3S KOREA

홍보자료

보도자료

3S, \'웨이퍼캐리어에 적용가능한 질소를 통한 공기 배기 특허권\' 취득

관리자 2014-02-25 조회수 329
3S, 웨이퍼캐리어에 적용가능한 질소를 통한 공기 배기 특허권 취득

  국내 유일한 웨이퍼 캐리어 양산업체 ㈜삼에스코리아(3S)웨이퍼 캐리어에 적용 가능한 질소를 통한 공기 배기'와 관련된 특허권을 취득했다고 24일 공시했다.
국  이 특허를 이용한 제품은 반도체업체 공정 내에서 사용되는 웨이퍼 캐리어인 FOUP이다. FOUPSEMICON Korea 2014에서 전시되어 반도체 장비업체관계자로부터 호평을 받았었다. 현재는 국내 반도체업체의 품질테스트가 진행되고 있다.
  3S 관계자에 의하면 "특허 기술을 이용할 경우 반도체 생산 공정에서 가장 중요한 수율 문제를 효과적으로 조절할 수 있다. 질소를 통한 내부 공기 배기하는 방법이 기존 외국 제품들에 비해 빠르고 효과적이라는 테스트 결과가 나왔다."면서  "현재 진행중인 업체 품질테스트가 끝나면 곧바로 매출 발생으로 이어질 것"으로 기대했다.