본문 바로가기 주메뉴 바로가기

삼에스코리아

미래가치를 만드는 기업 3S KOREA

To create future value company 3S KOREA

주요사업

첨단소재산업

300mm Open Cassette

● 제품설명
Open Cassette는 Wafer 제조 회사 공정내의 Line과 Line 이동 시 사용하
는 Carrier Box로, 국내 최초 양산화에 성공하였습니다. Open Cassette는
세정 용이성 확보를 위해 개방형 구조로 설계 되었으며, 치수 정밀도가 높
고 내 충격성이 뛰어나며 변형 현상이 적은 우수한 특성을 제공합니다. 또
한, 당사가 채용한 Open Cassette 원료는 높은 내약품성, 내열성, 치수 안
정성 등의 고성능 물성을 지닌 Super Engineering grade polymer로 내화
학성, 내열성을 요구하는 Wafer 제조 회사의 공정 환경에서 적합한 성능을
제공합니다. 

● 제품사양
웨이퍼 수용량 (Wafer storage quantity) : 25sheets
폭 (Width) : 332mm
길이 (Length) : 310mm
높이 (Height) : 303mm
무게 (Weight) : Empty - 2.2kg
With wafer - 5.2kg

● 제품 호환성
SEMI (E15.1, E62, E63, E64, E110, E83, E85, E84, E99,
E144) SPEC을 기준으로 설비 호환성 확보.