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삼에스코리아

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未来価値を作り出す企業 3S KOREA

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先端素材事業

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300mm Open Cassette

● 製品説明
Open CassetteはWafer製造会社の工程内でLineから別のLineに移る時使われるCarrier Boxで、当社が国内で始めて量産化に成功しました。Open Cassetteは洗浄を容易にするため開放型で設計され、寸法の精度が高く、衝撃に耐える力が強い、変形の少ない優秀な特性を提供します。当社は選んだOpen Cassette原料は高い耐薬品性、耐熱性、寸法安定性などの高性能物性であるSuper Engineering grade polymerとして耐科学性、耐熱性が求められるWafer製造社の工程環境でふさわしい性能を提供します。


● 製品仕様
ウェハー収容量(Wafer storage quantity) : 25sheets
幅(Width) : 332mm
長さ(Length) : 310mm
高さ(Height) : 303mm
重量(Weight) : Empty - 2.2kg
ウェハーを含めた重量With wafer - 5.2kg

● 製品互換性
SEMI (E15.1, E62, E63, E64, E110, E83, E85, E84, E99,
E144) SPECを基準に設備互換性を確保。

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