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삼에스코리아

未来価値を作り出す企業 3S KOREA

To create future value company 3S KOREA

主要事業

先端素材事業

300mm FOSB(model.V3s)

● 製品説明
Auto & manual Machine対応FOSBとしてSEMI基準はもちろんCHIPMAKERでの作業環境まで考えた構造で設計されOHTおよびRFID輸送対応ができます。作業者に便利な設計でAUTOだけでなく、MANUAL開閉にも容易です。

● 製品仕様
ウェハー収容量(Wafer storage quantity) : 25枚
幅(Width) : 385mm
長さ(Length) : 351mm
高さ(Height) : 327.5mm
重量(Weight) : Empty - 4.3kg
ウェハーを含めた重量 th wafer - 7.3kg

● 제품 호환성
SEMI (E15.1, E62, E63, E64, E110, E83, E85, E84, E99, E144) SPECを基に設備互換性を確保