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삼에스코리아

未来価値を作り出す企業 3S KOREA

To create future value company 3S KOREA

主要事業

先端素材事業

300mm FOSB(model.V2)

● 製品説明
FOSB業界で初めて国内CHIPMAKERに単一モデル対応という成果を成し遂げた3SKOREAが独自に開発したFOSBの2番目製品として、現在、国内CHIPMAKERに納品しています。(一部特殊工程LINEは除いた)AUTOとMANUALマシンに対応できるFOSBであり、オプションパーツとしてOHTのためのTOP FLANGEを提供します。

● 製品仕様
ウェハー収容量 (Wafer storage quantity) : 25枚
幅(Width) : 387.3mm
長さ(Length) : 344.5mm
高さ(Height) : 328mm
重量(Weight) : Empty - 4.2kg
ウェハーを含めた重量With wafer - 7.2kg

● 製品互換性
SEMI (E15.1, E62, E63, E64, E110, E83, E85, E84, E99, E144) SPECを基に設備互換性を確保