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삼에스코리아

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未来価値を作り出す企業 3S KOREA

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先端素材事業

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450mm FOUP(Front Opening Unified Pod)

● 製品説明
450mm FOUPはウェハー25枚の収容ができ、450mm　wafer processing cycleでウェハーの保護を極大化させました。SEMI informational blue ballot draft 4770Aに合わせ設計され、ウェハーと自動化　latching door handlingを提供します。微細汚染を防ぐためにEngineeringグレードの高分子物質を使い製作されました。

● 製品仕様
ウェハー収容量(Wafer storage quantity):25枚
幅(Width) : 555mm
長さ(Length) : 486.75mm
高さ(Height) : 404mm
重量(Weight) : Empty - 13.6kg
ウェハーを含めた重量　With wafer - 22.1kg

● 製品互換性
SEMI E154, E162, E156, E84, E99, E144,
E83 SPECを基準に設備互換性を確保。
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