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삼에스코리아

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未来価値を作り出す企業 3S KOREA

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先端素材事業

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450mm MAC(Multi Application Carrier)

● 製品説明
450mm MACはウェハー25枚の収容ができ、安定したウェハー保管および輸送を提供します。SEMI informational blue ballot draft 4770Aに合わせて設計され、ウェハーとlatching door handlingを提供します。内部ウェハーサポートシステムは自動loadingおよびunloadingの時に生じるwafer sagを最小化し、透明なhousingで肉眼でウェハーの確認ができます。

● 製品仕様
ウェハー収容用(Wafer storage quantity) :25枚
幅(Width) : 553mm
長さ(Length) : 485.3mm
高さ(Height) : 402.5mm
重量(Weight) : Empty - 13.6kg
ウェハーを含めた重量　With wafer - 22.1kg

● 製品互換性
SEMI E154, E162, E156, E84, E99, E144,
E83 SPECを基準に設備互換性を確保。
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