● 300mm Front Opening Shipping Box
● 특징
- AMHS(Automated Material Handling System) 대응 설계
- SEMI규격 62(FIMS)를 준수한 LOAD PORT에 따른 Open/Close
- 작업자 편리를 위한 설계
- Manual 공정 대응을 위한 Door 역삭입 방지 구조 설계
- Top-flange, Side-Handle 등 Option Part 장착 가능
● 제품사양
- 적용 SEMI규격 : E47.1 E1.9 E15.1 E57 E62 S8
- 무게 4.2Kg, PITCH 10mm
- 폭 387mm 깊이 344.5mm 높이 329mm