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3S KOREA

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To Create Future Value 3S KOREA

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3FU300(300mm Front Opening Unified Pod)

● 300mm Front Opening Unified Pod​

● 특징
- FIMS SEMI규격에 준거하여 AMHS(OHT, AGV, RGV) 호환
- 작업자 편의 및 환경을 고려하여 경량화 설계 및 Parts 교환 가능
- 모든 부품 도전성 재료 사용 - 정전기 기인 파티클 흡착 방지(E4 ~ E9)
- 엄선된 플라스틱 수지를 사용하여 장기간 사용 가능(3~5년)

● 제품사양
- 적용 SEMI규격 : E47.1 E1.9 E15.1 E57 E62 S8
- 무게 4.2Kg, PITCH 10mm
- 폭 419mm 깊이 343mm 높이 336mm

Product Brochure

OPTION

  • 3FU300
    300mm 25 slot FOUP
  • 3FU300-1
    300mm 25 slot FOUP(투명 Door)
  • 3FU300-2
    300mm 13 slot FOUP

OPTION PART

  • RFID 가로부착형
  • RFID 세로부착형
Available for purchase separately
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