● 400mm Ring-Frame Shipper
● 특징
- AMHS(Automated Material Handling System) 대응 설계
- SEMI규격 62(FIMS)를 준수한 LOAD PORT에 따른 Open/Close
- 작업자 편리를 위한 설계
- 0.2㎛ filter 사용으로 파티클 차단
- Ring-Frame 접촉부에 마모성이 가장 강한 원료 사용
● 제품 사양
- 무게 4.2Kg, PITCH 9.5mm
- 폭 419mm 깊이 343mm 높이 336mm